EUV光刻销售增长60% 累计出货超过100台
2020年,ASML设备销售额为103亿欧元,其中EUV光刻系统销售再创新高,全年销售31台,销售额达45亿欧元,同比增长60%,占设备销售额的43%(2019年EUV光刻系统销售26台,销售额28亿欧元,占比31%)。此外,ASML还在2020年达成了第100台EUV光刻系统交付的里程碑。到2020年底,全球有2600万片晶圆是经过ASML的EUV系统曝光的,其中900万片的曝光量来自第四季度。

ASML各产品销售额占比
图片来源:ASML
ASML总裁兼首席执行官Peter Wennink表示ASML最新的EUV系统——“NXE:3600D”计划于2021年发布,这一尖端技术将使ASML从更广泛的客户群体中获得利润。ASML首席财务官Dassen预测:2021年EUV系统的销售额将增长30%,达到58亿欧元。
Dassen表示:“通过降低周期时间,我们在EUV光刻系统制造能力方面取得了良好的进展。但2021年,我们的供应链会成为我们发展的制约。面对Covid-19造成的潜在风险,我们不得不进行调整。”
此外,ASML正在研发下一代EUV光刻设备。下一代设备将采用High-NA技术,具有更高的数值孔径,分辨率和覆盖能力也将比现在的EUV光刻机提高70%。此前有媒体报道称,High-NA EUV光刻机价格预计为每台5000亿韩元(约合人民币29.66亿元),比现在的EUV设备高出2~3倍。
激光技术助力EUV光刻:ASML、通快携手共进
为强化光刻技术,ASML于2012年收购全球知名准分子激光器厂商Cymer,以加强光刻机光源设备及技术;三年后的2015年,ASML向通快订购了15台EUV光刻工具。自那以后,EUV光刻业务成了通快发展的重心之一,2016年至今的历年财报均强调EUV业务为通快集团业务作出了重大贡献,近两年通快更是指出只有EUV和电子产品业务实现了逆势增长。2017年,通快宣布成功收购Access Laser 85%的股权,后者建立早期专注研发CO2激光器,利用在定制激光器方面的强大知识,于2012年成为EUV市场的核心供应商。收购完成后,通快迅速加强EUV相关设备研发,一举成为ASML EUV光刻机光源的独门供应商。

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